按真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的(de)工作原(yuan)理(li)(li),真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)基本上(shang)可以分為兩(liang)種類型(xing),即氣體捕集泵(beng)(beng)和氣體傳輸(shu)泵(beng)(beng)。其廣泛(fan)用于冶(ye)金、化(hua)工、食品、電子鍍(du)膜等行(xing)業(ye)。真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)原(yuan)理(li)(li)真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)是指利用機械、物理(li)(li)、化(hua)學(xue)或(huo)物理(li)(li)化(hua)學(xue)的(de)方法(fa)對被抽容器進行(xing)抽氣而獲得(de)真空(kong)(kong)的(de)器件(jian)或(huo)設備。通(tong)俗(su)來講,真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)是用各種方法(fa)在某一(yi)封閉空(kong)(kong)間(jian)中(zhong)改善(shan)、產生和維持(chi)真空(kong)(kong)的(de)裝置按(an)真(zhen)空(kong)(kong)泵的工作原理,真(zhen)空(kong)(kong)泵基本(ben)上(shang)可以(yi)分為兩種類型,即氣體(ti)捕集泵和氣體(ti)傳輸泵。其(qi)廣(guang)泛(fan)用(yong)于冶金、化工、食(shi)品、電(dian)子(zi)鍍膜等行業(ye)。
1. 1. 真空泵發(fa)展(zhan)史(shi)
隨(sui)著真(zhen)空(kong)技(ji)術在生產和(he)科(ke)學(xue)研究領域(yu)中對其應用(yong)壓強范(fan)圍的(de)(de)(de)要求(qiu)越(yue)來越(yue)寬,大多(duo)(duo)需要由(you)幾(ji)(ji)種(zhong)(zhong)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)組(zu)成真(zhen)空(kong)抽(chou)(chou)氣(qi)系統共同抽(chou)(chou)氣(qi)后才能滿足生產和(he)科(ke)學(xue)研究過(guo)程的(de)(de)(de)要求(qiu),由(you)于真(zhen)空(kong)應用(yong)部(bu)門所(suo)涉及的(de)(de)(de)工作(zuo)(zuo)壓力(li)的(de)(de)(de)范(fan)圍很寬,因此任何一種(zhong)(zhong)類型的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)都不可(ke)能完(wan)全適用(yong)于所(suo)有的(de)(de)(de)工作(zuo)(zuo)壓力(li)范(fan)圍,只能根(gen)據不同的(de)(de)(de)工作(zuo)(zuo)壓力(li)范(fan)圍和(he)不同的(de)(de)(de)工作(zuo)(zuo)要求(qiu),使用(yong)不同類型的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)。隨(sui)著真(zhen)空(kong)應用(yong)的(de)(de)(de)發(fa)展,真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)種(zhong)(zhong)類已發(fa)展了很多(duo)(duo)種(zhong)(zhong),其抽(chou)(chou)速從每秒零點幾(ji)(ji)升到每秒幾(ji)(ji)十萬、數百萬升。為了使用(yong)方便和(he)各種(zhong)(zhong)真(zhen)空(kong)工藝過(guo)程的(de)(de)(de)需要,有時將各種(zhong)(zhong)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)按其性能要求(qiu)組(zu)合(he)起(qi)來,以機組(zu)型式應用(yong)。
近年來, 伴隨著我國(guo)(guo)經(jing)濟持續(xu)高速(su)發(fa)(fa)展,真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵相關下游應用(yong)行業保(bao)持快(kuai)速(su)增長(chang)勢頭,同(tong)(tong)時(shi)在真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵應用(yong)領(ling)域不斷拓展等因(yin)素的共同(tong)(tong)拉動下,我國(guo)(guo)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵行業實現了持續(xu)穩定地快(kuai)速(su)的發(fa)(fa)展。常(chang)用(yong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵包(bao)括干式螺桿(gan)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵、水(shui)環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨(ci)泵和(he)擴(kuo)散泵等,這些泵是(shi)我國(guo)(guo)國(guo)(guo)民經(jing)濟各行業應用(yong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)工藝過(guo)程中必不可少的主力(li)泵種。
2. 2 結(jie)構特點
結構特點
(1)泵(beng)總體結構型(xing)式
真空泵(beng)的(de)泵(beng)體的(de)布置結構決定(ding)了泵(beng)的(de)總體結構。
立式(shi)結(jie)構的進(jin)、排氣(qi)口水平設置,裝配和(he)連接管路都比(bi)較(jiao)方便。但泵(beng)的重心較(jiao)高,在高速運轉(zhuan)時穩定性差,故這種型式(shi)多用于(yu)小泵(beng)。
有(you)時為了真空(kong)系(xi)統管(guan)道安裝連(lian)接方(fang)便,可將排(pai)氣(qi)口從水平方(fang)向接出,即(ji)進(jin)、排(pai)氣(qi)方(fang)向是相互垂直的(de)。此(ci)時,排(pai)氣(qi)口可以從左或右兩個方(fang)向開口,除(chu)接排(pai)氣(qi)管(guan)道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這(zhe)種(zhong)泵結構(gou)重心低,高速運轉時穩定性好。臥(wo)式泵的(de)進(jin)氣(qi)口在上(shang),排(pai)氣(qi)口在下(xia)。一般大(da)、中型泵多采用此(ci)種(zhong)結構(gou)。
泵的兩個轉(zhuan)子軸(zhou)與水平面垂直安裝(zhuang)。這(zhe)種結構裝(zhuang)配(pei)間(jian)隙容易控制,轉(zhuan)子裝(zhuang)配(pei)方便,泵占地面積小。但(dan)泵重心較高且齒輪拆裝(zhuang)不(bu)便,潤滑機(ji)構也相對(dui)復(fu)雜。
(2)泵的傳動方式
在(zai)傳(chuan)動(dong)(dong)結構(gou)布置(zhi)上主要(yao)有(you)以下兩種:其一是電(dian)(dian)動(dong)(dong)機(ji)與齒(chi)輪(lun)放在(zai)轉(zhuan)子(zi)的同一側(ce)如圖。從動(dong)(dong)轉(zhuan)子(zi)由電(dian)(dian)動(dong)(dong)機(ji)端齒(chi)輪(lun)直(zhi)接傳(chuan)過去帶(dai)動(dong)(dong),這樣主動(dong)(dong)轉(zhuan)子(zi)軸的扭轉(zhuan)變形小,則兩個轉(zhuan)子(zi)之間的間隙不(bu)會因主動(dong)(dong)軸的扭轉(zhuan)變形大而改變,故使轉(zhuan)子(zi)之間的間隙在(zai)運轉(zhuan)過程(cheng)中均勻。真(zhen)空泵(beng)的兩個轉(zhuan)子(zi)是通過一對(dui)高(gao)精度(du)齒(chi)輪(lun)來(lai)實現其相對(dui)同步(bu)運轉(zhuan)的。主動(dong)(dong)軸通過聯(lian)軸器與電(dian)(dian)機(ji)聯(lian)接。這種傳(chuan)動(dong)(dong)方(fang)式的最(zui)大缺(que)點(dian)是:a.主動(dong)(dong)軸上有(you)三個軸承(cheng),增(zeng)加(jia)了泵(beng)的加(jia)工和裝配難(nan)度(du),齒(chi)輪(lun)的拆(chai)裝及調(diao)整也不(bu)便(bian);b.整體結構(gou)不(bu)勻稱,泵(beng)的重心偏向電(dian)(dian)動(dong)(dong)機(ji)和齒(chi)輪(lun)箱(xiang)一側(ce)。
特點(dian)
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
(2)轉子具有(you)良好的(de)幾(ji)何對(dui)稱性(xing),故振(zhen)動小(xiao),運(yun)轉平穩。轉子間及轉子和殼體(ti)間均有(you)間隙,不用潤(run)滑(hua),摩擦(ca)損失小(xiao),可大大降(jiang)低驅動功率,從而可實現較高轉速;
(3)泵腔內無(wu)需(xu)用油密封和潤滑,可減少(shao)油蒸(zheng)氣對真空系統的污染;
(4)泵腔內無壓(ya)縮,無排氣閥。結(jie)構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水(shui)蒸汽不敏感;
(5)壓縮比(bi)較低,對(dui)氫(qing)氣(qi)抽(chou)氣(qi)效果(guo)差;
(6)轉子表面(mian)為形狀較為復雜的曲線柱面(mian),加工(gong)和檢查(cha)比較困難
3. 真空泵分類一
利用泵腔容積(ji)的(de)周期性變化來完(wan)成吸(xi)氣(qi)和(he)排(pai)氣(qi)過程的(de)一(yi)種(zhong)真空泵,氣(qi)體在排(pai)出前被壓(ya)縮(suo)。
這(zhe)種(zhong)泵分為(wei)往復式(shi)及旋(xuan)片式(shi)兩種(zhong):
(1) 往復式真空泵:是(shi)利用泵腔內活塞(sai)做往復式運動,將(jiang)氣體(ti)吸入、壓縮(suo)并排出。因此,又稱為(wei)活塞(sai)式真空泵。
(2) 旋(xuan)片式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng):是利(li)用泵(beng)(beng)腔內活塞做旋(xuan)轉(zhuan)運動,將氣體(ti)吸入(ru)、壓縮并排(pai)出(chu)。旋(xuan)轉(zhuan)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)又有(you)如下幾種形式(shi)(shi)(shi): ① 油封式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng):它(ta)是利(li)用油類(lei)密封各運動部件之間(jian)的間(jian)隙,減少有(you)害空(kong)(kong)間(jian)的一種旋(xuan)轉(zhuan)變容(rong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)。這種泵(beng)(beng)通常帶有(you)氣鎮(zhen)裝置,故又稱氣鎮(zhen)式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)。按其結(jie)構特點分為如下五種形式(shi)(shi)(shi)。
A滑(hua)閥式(shi)真空泵(beng)(beng):在偏心(xin)轉(zhuan)子(zi)外(wai)部裝有一個(ge)滑(hua)閥,轉(zhuan)子(zi)旋轉(zhuan)帶(dai)動(dong)(dong)滑(hua)閥沿泵(beng)(beng)殼內壁滑(hua)動(dong)(dong)和滾(gun)動(dong)(dong),滑(hua)閥上部的滑(hua)閥桿能在可擺動(dong)(dong)的滑(hua)閥導軌中滑(hua)動(dong)(dong),而(er)泵(beng)(beng)腔(qiang)分成兩(liang)個(ge)可變容積。
B.旋(xuan)(xuan)片(pian)式(shi)真(zhen)空泵(beng):轉子(zi)(zi)以一定的偏心(xin)距裝在泵(beng)殼內(nei)(nei)并與(yu)(yu)泵(beng)殼內(nei)(nei)表面(mian)的固定面(mian)靠近,在轉子(zi)(zi)槽(cao)內(nei)(nei)裝有兩個(或兩個 以 上)旋(xuan)(xuan)片(pian),當(dang)轉子(zi)(zi)旋(xuan)(xuan)轉時旋(xuan)(xuan)片(pian)能沿其徑向槽(cao)往復滑(hua)動且與(yu)(yu)泵(beng)殼內(nei)(nei)壁始終(zhong)接觸(chu),此旋(xuan)(xuan)片(pian)隨轉子(zi)(zi)一起旋(xuan)(xuan)轉,可(ke)(ke)將泵(beng)腔分成幾(ji)個可(ke)(ke)變容(rong)積。
C.余擺線(xian)(xian)式真空泵:在泵腔內偏心裝有(you)(you)一個(ge)型線(xian)(xian)為余擺線(xian)(xian)的轉子,它沿泵腔內壁(bi)轉動(dong)并將泵腔分成(cheng)兩個(ge)可(ke)變容積。 E.多室旋片(pian)式真空泵:在一個(ge)泵殼內并聯裝有(you)(you)由同一個(ge)電動(dong)機驅動(dong)的多個(ge)獨立工作室的旋片(pian)真空泵。
D.定片(pian)式真空泵(beng):在泵(beng)殼(ke)內裝有一個與泵(beng)內表面(mian)靠近的偏心轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi),泵(beng)殼(ke)上裝有一個始終與轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)表面(mian)接觸的徑向滑片(pian),當轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)旋轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)時,滑片(pian)能上下滑動將泵(beng)腔分成兩個可變容(rong)積。
4. 真(zhen)空泵按真(zhen)空度分類
粗(cu)真(zhen)空(kong)(kong)系 主要(yao)用(yong)來(lai)抽(chou)除空(kong)(kong)氣(qi)和其(qi)它(ta)有(you)一定腐(fu)蝕性、不溶(rong)(rong)于水、允(yun)許含有(you)少量固體(ti)(ti)顆粒(li)的(de)(de)氣(qi)體(ti)(ti)。廣泛用(yong)于食(shi)品、紡織、醫藥、化工(gong)等(deng)行業的(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)蒸發(fa)、濃(nong)縮、浸(jin)漬、干燥等(deng)工(gong)藝(yi)過程中。按其(qi)真(zhen)空(kong)(kong)度(du)可(ke)以(yi)分為:粗(cu)真(zhen)空(kong)(kong)、高(gao)(gao)真(zhen)空(kong)(kong)、超高(gao)(gao)真(zhen)空(kong)(kong)三大類。 該型泵具有(you)真(zhen)空(kong)(kong)度(du)高(gao)(gao)、結(jie)構簡單,使用(yong)方(fang)便(bian)、工(gong)作可(ke)靠、維護(hu)方(fang)便(bian)的(de)(de)特點(dian)。 主要(yao)用(yong)于粗(cu)真(zhen)空(kong)(kong)。抽(chou)氣(qi)量大的(de)(de)工(gong)藝(yi)過程中。它(ta)主要(yao)用(yong)來(lai)抽(chou)除空(kong)(kong)氣(qi)和其(qi)它(ta)無腐(fu)蝕,不溶(rong)(rong)于水,含有(you)少量固體(ti)(ti)顆粒(li)的(de)(de)氣(qi)體(ti)(ti),以(yi)便(bian)在(zai)密(mi)閉容器中形成真(zhen)空(kong)(kong)。所吸氣(qi)體(ti)(ti)中允(yun)許混有(you)少量液(ye)體(ti)(ti)。它(ta)被廣泛應用(yong)于機械、制藥、食(shi)品、石油化工(gong)等(deng)行業中。
廣泛(fan)應(ying)用于(yu)化(hua)工、食品、建材等(deng)部門(men),特別是(shi)在真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)結晶、干燥、過濾、蒸(zheng)發(fa)等(deng)工藝過程中更(geng)為適(shi)宜。 無(wu)油(耐腐蝕)立式往復(fu)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)是(shi)臥式真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)的更(geng)新換代產品,是(shi)獲得(de)粗真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的主要(yao)設備。是(shi)獲得(de)粗真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的主要(yao)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)設備之一。由(you)于(yu)采用全密封裝(zhuang)置,實現了曲軸箱和汽缸的完(wan)全隔(ge)離;加上活塞環使用了自潤滑(hua)材料,便實現了先(xian)進的無(wu)油潤滑(hua)。由(you)于(yu)無(wu)污水排放,所(suo)以該型真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)特別適(shi)用于(yu)化(hua)工、醫(yi)藥(yao)和食品等(deng)行業的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)蒸(zheng)餾、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)蒸(zheng)發(fa)、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)干燥、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)濃縮、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)浸漬等(deng)工藝過程中。
高(gao)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系 滑閥式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng) (Rotary Piston Vacuum Pump) 廣泛應用(yong)于真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)拉(la)晶(jing)、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)鍍膜(mo)、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)冶金、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)熱處理、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)浸漬、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)干燥、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)蒸餾、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)練泥(ni)、航(hang)空(kong)(kong)(kong)航(hang)天模擬試驗等新(xin)材(cai)料(liao)、新(xin)技術、新(xin)工藝的(de)生產與研制中。 滑閥真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)可(ke)單獨使用(yong),也可(ke)作為羅茨(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)、油(you)增壓泵(beng)、油(you)擴散泵(beng)的(de)前級泵(beng)的(de)使用(yong)。當(dang)抽吸對(dui)黑色金屬有腐蝕、對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)油(you)起(qi)化學反應、含(han)大(da)量(liang)蒸汽、大(da)量(liang)粉塵的(de)氣體時,需附加裝置。優點(dian):相比旋片式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)耐(nai)用(yong)性要高(gao)好(hao)幾倍且抽氣速(su)率大(da),價格相對(dui)高(gao)一點(dian)。
它可以(yi)單獨使(shi)(shi)(shi)用(yong)(yong),也可作為增壓(ya)泵(beng)(beng)(beng)、擴散泵(beng)(beng)(beng)、分子(zi)泵(beng)(beng)(beng)的前級(ji)泵(beng)(beng)(beng)使(shi)(shi)(shi)用(yong)(yong)。該(gai)型泵(beng)(beng)(beng)廣(guang)泛應用(yong)(yong)于(yu)冶金(jin)、機械、電子(zi)、化(hua)工、石油、醫藥等(deng)行業的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)冶煉、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)鍍膜、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱處理,真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)干燥等(deng)工藝過程中(zhong)。用(yong)(yong)來抽除(chu)密閉容器(qi)的氣體的基本設(she)備之一。 旋片式真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng) ( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump ) 具(ju)有結(jie)構(gou)緊湊,體積小(xiao),重(zhong)量輕,噪音(yin)低,振(zhen)動小(xiao)等(deng)優點。所以(yi),它適用(yong)(yong)于(yu)作擴散泵(beng)(beng)(beng)的前級(ji)泵(beng)(beng)(beng),而且更適用(yong)(yong)于(yu)精密儀(yi)器(qi)配套和實驗室使(shi)(shi)(shi)用(yong)(yong)。例如:質譜儀(yi)器(qi),冰箱流水線(xian),真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)冷凍干燥機等(deng)。
主(zhu)要用于真(zhen)空(kong)機組的主(zhu)泵(beng)(beng)(beng),需要用前級(ji)泵(beng)(beng)(beng)輔助(zhu)。如:水環式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng),滑閥真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng),立式(shi)無油真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng),分子(zi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)等。國內最(zui)大(da)羅茨真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)保持(chi)紀錄為(wei)20000L/S。羅茨真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng) ( Roots Vacuum Pump ) 是一(yi)種旋轉式(shi)變容真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng),須有前級(ji)泵(beng)(beng)(beng)配合方可使用在較(jiao)寬的壓力范圍內,有較(jiao)大(da)的抽速(su),對被抽除氣體中含有灰(hui)塵和水蒸汽不(bu)敏感。廣泛用于冶金(jin)、化工、食品(pin)、電子(zi)鍍膜等行業(ye)。

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